四自由度集成芯片装片装置

摘要：

介绍了一种自主研发的四自由度集成芯片装片装置的结构及其基于伺服运动卡控制系统。该装置能在X-Y-Z-θ四个自由度上进行检测和定位，实现芯片与引线框架的待贴片位置的实时对准和绑定，从而保证了较高的装片精度和装片效率。应用结果表明：该装置性能可靠、运行稳定，满足高速度、高精度和高性能先进封装规模化生产线要求。

关键词：四自由度、集成芯片、装片装置、运动控制卡

分类号：TP2;TH1

在线出版日期：2015-05-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：120-121,67