单模光纤与SOI纳米线波导耦合设计

摘要：

波导光栅在集成光学发展中扮演着重要的角色.与其他的耦合方法相比,光栅耦合器具有耦合效率高、制备封装成本低、无需芯片端面抛光、可以在任何地方实现信号输入输出等优点,成为纳米光波导最有潜力的耦合方法.本文提出利用OPTIFDTD软件仿真结合MATLAB编程的方法精确计算光栅耦合效率的新方法.仿真分析了光栅的周期、槽深、占空比、SiO2层厚度等光栅参数对耦合效率的影响,并给出了使输入光栅耦合器耦合效率达到42.6%;输出光栅耦合器的耦合效率达到72.3%的一组最佳光栅参数.

关键词：集成光学、SOI纳米线波导、光栅耦合器、耦合效率

分类号：TC410

资助基金：山西省研究生优秀创新项目20103083

在线出版日期：2011-11-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：5-10