球栅技术进程及应用

摘要：

球栅技术是一种基于交流电磁感应的技术,是目前流行的用于极端恶劣环境下测量动态直线位移的非接触式传感器--球栅尺的关键技术[1].本文结合当前广泛应用的感应同步器、光栅尺、光电编码器以及磁栅等传感器所存在的不足之处,比如解决某些恶劣环境下的测长问题等(高温,高压,多粉尘,多噪声或者浸泡在水里或油里)[2].基于电磁互感原理,详细介绍了球栅技术原理和典型球栅尺的工作原理,同时详细给出了球栅尺的结构.并介绍了典型球栅尺相关的关键技术:安装、硬件电路及数据处理和误差分析.最后结合其特点给出了球栅传感器当前的应用领域,并预测了其发展趋势.

关键词：球栅技术、球栅尺、动态位移传感器

分类号：TN201(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2009-10-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：10-14