10.3969/j.issn.1000-8519.2007.01.009
精密工作台光栅定位测量与控制系统的设计
定位测量与控制系统是精密仪器中的一个重要组成部分,特别是对高精度的仪器尤为重要.精密工作台光栅定位测量与控制系统是一种包括激光干涉仪、光栅、线纹尺、感应同步器、磁栅及码盘等多个元器件组成的精确的定位测量与控制系统系统.
光栅位移检测系统、闭环伺服控制、测量控制、光纤光栅传感器
TP3(计算技术、计算机技术)
2007-09-24(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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