微系统及其可靠性技术的发展历程、趋势及建议

摘要：

随着"摩尔定律"不断地逼近物理极限,微系统集成技术被普遍认为是推动集成电路芯片微型化和多功能化的新引擎.但是通过三维堆叠、异质/异构集成等实现小型化、多功能化的同时,也给微系统带来了许多新的可靠性问题.针对微系统封装技术的发展和可靠性评估的需求,介绍了微系统技术的定义和发展历史,重点分析了微系统技术的发展现状,探讨了微系统目前面临的可靠性技术问题.此外,从技术、应用和市场战略方面对微系统技术未来的发展趋势进行了概述.最后,分析了当前微系统可靠性评估存在的挑战,对微系统技术发展提出了建议.

关键词：微系统封装;可靠性;失效分析;发展历程;发展趋势;建议

所属期刊栏目：39

分类号：TP273(自动化技术及设备)

在线出版日期：2021-11-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：21-24