标准中氦质谱检漏试验判据的研究

摘要：

通过计算,指出美国军用标准MIL-ST0-750E<半导体器件试验方法>的方法1071.8中的氨质谱检漏的固定方法和灵活方法判据的宽严程度有明显的差异,多数情况下超过一个数量级.建议在参考此类标准和执行类似标准时应加以注意.

关键词：军用标准、密封、气密性、氮质谱检漏、灵活方法

所属期刊栏目：29

分类号：T-651;TB774(参考工具书)

在线出版日期：2011-12-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：1-3