器件尺寸对MOS器件辐照效应的影响

摘要：

随着MOS器件的尺寸越做越小,其辐照效应也随即发生改变,对于小尺寸器件的辐照效应研究也就占据了一个非常重要的位置.对一些器件几何尺寸的辐照效应影响进行了综述.

关键词：金属-氧化物-半导体、器件尺寸、辐照效应

所属期刊栏目：23

分类号：TN306(半导体技术)

资助基金：国家重点实验室基金51433030404DZ1501

在线出版日期：2005-11-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：21-24