高温恒定电流电迁移可靠性试验及结果分析

摘要：

介绍了评价电迁移可靠性的高温恒定电流试验方法,以电阻值超过初始值10%为失效判据,对某工艺的几组样品进行可靠性评价.该试验方法简便、可靠,适用于亚微米和深亚微米超大规模集成电路的可靠性评价.

关键词：超大规模集成电路、电迁移、可靠性评价、模型

分类号：TN47.06(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2005-02-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：49-52