电子封装失效分析新技术--双波透射SAM

摘要：

介绍了在反射式SAM技术基础上开发的一种失效分析新技术--双波透射SAM技术的原理和应用特点.该技术依据声波在界面的反射系数R与材料声阻Z的关系,采用双程透射方法,通过入射和反射声波强度的对比分析,对界面缺陷进行定位,它是解决传统反射式SAM技术不能准确探测复杂结构界面缺陷、替代(单波)透射技术的又一新方法.

关键词：扫描声学显微镜技术、双波透射、声阻抗、失效分析

分类号：TH742.9(仪器、仪表)

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：5-8