微纳测量机靶镜正交偏差角测量不确定度评定

摘要：

三维靶镜是微纳米坐标测量机系统中的重要组成部分,其各面间正交性对保障系统测量精度至关重要.为检验三维靶镜加工是否符合测量机精度要求,对三维靶镜正交偏差角进行测量及不确定度评定,在量值特性分析建模基础上,研究了测量不确定度表示指南传统方法(称为GUM法)、蒙特卡洛方法(MCM)及自适应蒙特卡洛方法(AMCM)3种测量评定方法.测量评定结果对比表明,三维靶镜加工精度基本符合预期要求,其中Z-X面和Y-Z面的面间夹角均为0.5"左右,X-Y面间夹角在3.3"左右;3种方法所得评定结果基本一致,MCM和AMCM较GUM法评定结果更合理,AMCM相对MCM更高效.所做工作为后续研究微纳米坐标测量机面向任务的测量不确定度评定提供了借鉴方法.

关键词：测量不确定度、坐标测量机、测量不确定度表示指南、蒙特卡洛方法、自适应蒙特卡洛方法

所属期刊栏目：36

分类号：TB9;TN06(计量学)

资助基金：国家重点研发计划2019YFB2004901

在线出版日期：2023-03-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：1-8