微腔激光器Al和Ag电极的光电学特性研究

摘要：

III-V族微腔激光器中的P型金属电极通常采用的Ti-Pt-Au的合金方式,而其中的Ti层对通信波长1 550 nm的激光具有很强的吸收,不适合在高密度光子集成器件中使用.为了代替传统的合金方式,采用二维解析法计算单一金属Al和Ag金属限制下的微腔中光学模式品质因子,发现这两种新型电极具有更小损耗.另外在实验上分别制作金属Al和Ag的电极的微腔激光器,得到与理论预测一致的测试结果.由于这两种电极价格便宜,工艺简单并与CMOS工艺相容,因此在光子集成器件中具有很高的应用前景.

关键词：微腔激光器、金属电极、光子集成

所属期刊栏目：31

分类号：TN36(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金面上项目-基于光纤光栅的飞机结构载荷谱构建新方法研究54675053;长江学者和创新团队发展计划IRT1212,光电信息与仪器;北京市重大科技计划项目PXM2013-014224-000077,PXM2012-014224-000019

在线出版日期：2017-09-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1213-1217