前馈控制算法校正相移微动台非线性运动

摘要：

压电陶瓷具有推力大,响应速度快,分辨率高和能耗低等优点,但其形变量小,所以需要位移放大机构对其形变量进行放大,实现长行程高分辨率位移.针对压电陶瓷作为驱动器,柔性铰链位移放大装置作为导向机构的相移微动台运动存在非线性问题,采用多项式模型对其位移特性进行建模,通过求解逆多项式获得使其线性运动非线性电压,利用实验对非线性运动校正结果进行验证.实验结果表明,所采用前馈控制算法可以很好的校正相移微动台非线性运动,校正后相移台在x,y方向产生的最大相移误差为4°与3.2°,满足高精度相移干涉测量对相移台相移误差要求.

关键词：压电陶瓷、柔性铰链、位移放大机构、非线性运动校正、相移误差

所属期刊栏目：28

分类号：O439;TH744.3(光学)

资助基金：02国家科技重大专项2009ZX2205资助课题

在线出版日期：2014-09-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：879-884