直线时栅测量系统的误差研究

摘要：

研究直线时栅位移测量系统中的误差规律,对提高时栅测量系统的测量精度及进一步优化系统结构具有重要意义.在分析直线时栅测量系统误差来源的基础上,定量分析了时栅误差、导轨误差、滑台及连接臂变形误差,建立了时栅测量系统的全误差模型；研制一套激光干涉仪与时栅测量系统标定实验装置,实现了时栅测量系统误差的分离,并利用该模型对测量系统进行误差修正,显著提高时栅测量系统的测量精度,修正后的精度达±8 μm/m,测量不确定度减小一半.

关键词：时栅测量系统、误差模型、误差修正

所属期刊栏目：27

分类号：TH701;TN9(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金50975304;国家自然科学基金51005263;重庆市教育委员会科学技术研究KJ110808

在线出版日期：2013-04-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：15-20