棱锥式角度传感器原理研究与设计

摘要：

角度作为最基本的几何量之一,其精度直接影响制造业的产品质量.针对光栅传感器刻线数难以进一步提高的技术瓶颈,本文提出了一种基于正棱锥的角度传感器测量系统.通过正棱锥反射结构,将多束激光以45.入射至正棱锥棱面,并结合多个错位设置的位置敏感探测器,实现了角度的连续测量.实验结果表明,基于正棱锥的角度传感器原理正确,在1.2.的量程内,单个位置敏感探测器测量误差为±3.5";四个位置敏感探测器连续交替测量时,在4.8.量程内,测量误差为±4".本文提出的棱锥式角度传感器无需进行栅式刻线,精度与位置敏感探测器的距离以及其测量精度有关,随着位置敏感探测器的精度提升,系统的测量精度必然可以进一步提高.

关键词：角度测量、位置敏感探测器、正棱锥、交替测量

所属期刊栏目：45

分类号：TH712(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金;宁夏自然科学基金项目

在线出版日期：2023-04-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：36-42