基于多光谱图像融合的光学表面疵病检测

摘要：

为了实现对精密光学元件表面疵病的高精度测量,提出了一种基于多光谱图像融合的光学元件表面疵病检测方法.通过使用不同波长的光源入射到光学表面,在显微暗场成像系统中获得了 450、532、650 nm单波长光源照明时光学表面疵病的检测结果,并将采集到的图片通过加权平均法、拉普拉斯金字塔变换法和小波变换法3种方法进行图像融合后,再进行图像处理获取疵病尺寸信息.由实验结果对比可知,相较于单波长原始图像的疵病检测结果,多光谱融合图像的检测结果更加精确,并且通过对比3种融合方法结果,其中以拉普拉斯金字塔变换融合的效果最佳.

关键词：图像融合、多光谱、光学表面疵病、疵病检测

所属期刊栏目：45

分类号：TH741(仪器、仪表)

在线出版日期：2022-09-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：131-135