硅基还原氧化石墨烯热电阻温度传感器

摘要：

为了解决传统的铂电阻、金属等温度传感器灵敏度不高及性能不稳定的问题,选用新型纳米材料还原氧化石墨烯为温敏材料,利用mems工艺制备了叉指电极热敏电阻,通过滴涂法将还原氧化石墨烯与叉指电极有效组装起来,制备了一种硅基还原氧化石墨烯热电阻温度传感器,对还原氧化石墨烯形貌进行了扫描电子显微镜(SEM)表征,并搭建了测试系统对性能进行了测试.结果表明,从30℃～210℃范围内,传感器的电阻随温度的上升而下降,传感器的灵敏度约为85.977 19 Ω/℃,线性度高达0.980 49,同时具有极小的迟滞性和良好的稳定性.

关键词：还原氧化石墨烯、叉指电极、滴涂法、温度传感器、测试

所属期刊栏目：44

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：山西省自然科学基金;高等学校科技创新项目

在线出版日期：2022-05-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：68-72