多晶硅红外探测器在工业加热炉上的应用研究

摘要：

工业加热炉中,受高温环境的影响一般探测器无法测量工件的真实温度.针对工业加热炉温度检测问题,设计了多晶硅红外探测器实时测温系统.通过黑体炉对探测器的输出与环境温度的关系、以及光电转换性能进行测试;结果为工作环境温度超过30℃时输出急剧减小,且随着目标温度升高,动态范围减小.设计在探测器前端增加衰减片和一种具有夹层结构的防护罩,结果表明该系统有效拓展了多晶硅红外探测器的动态范围,保障探测器的环境温度在30℃范围内,测量精度达到0.85℃,满足工业要求,解决了多晶硅红外探测器在工业加热炉上的应用.

关键词：工业加热炉、多晶硅红外探测器、动态范围、衰减片

所属期刊栏目：44

分类号：TN215(光电子技术、激光技术)

资助基金：安徽省高校自然科学研究重点项目KJ2020A0125

在线出版日期：2021-07-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：54-58