V型MEMS电热执行器技术研究

摘要：

V型电热执行器结构简单、执行力大、能够输出直线型位移,广泛用于MEMS系统中.利用热电效应,对V型电热执行器进行了讨论,得到了执行器上温度分布、最大位移以及阶跃响应时间的理论分析值,并利用有限元分析软件ANSYS进行了仿真验证,结果表明理论分析值和仿真结果保持一致.对执行器的几何参数对器件性能的影响进行研究,搭建测试平台对执行器的性能进行测试,14 V电压下可以在4 ms内达到稳定的工作状态.

关键词：电热执行器、温度分布、位移、响应时间

所属期刊栏目：44

分类号：TN37(半导体技术)

资助基金：陕西省教育厅专项科研计划;西北工业大学明德学院科研基金

在线出版日期：2021-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：45-49