氧化铟传感器对VOCs的动态测试方法研究

摘要：

金属氧化物气体传感器具有灵敏度高、响应迅速等优点,在VOCs气体检测方面发挥着重要的作用.采用水热法制备了In2O3气体传感器,通过动态测试证明了当矩形波作为加热电压波形时,可以增加电流响应曲线的特征峰.针对2-丁酮、甲酸、乙醇、乙酸乙酯气体,固定加热电压区间为4～7 V,改变动态测试时矩形波的占空比和相邻加热周期间隔时间,结果表明在占空比为1/2、相邻加热周期间隔10s的条件下,电流响应曲线可以获得较多特征峰.在不降低动态响应信号品质的前提下,也缩短了在实际应用中的功耗.

关键词：半导体气体传感器、动态测试、间隔时间、功耗

所属期刊栏目：43

分类号：TP212.2(自动化技术及设备)

资助基金：国家重点研发计划;国家自然科学基金;辽宁省“兴辽英才”计划;东北大学第十三批大学生创新训练计划资助项目

在线出版日期：2020-12-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：137-142