用于快速反射镜的压电陶瓷驱动系统设计

摘要：

设计了一种用于快速反射镜的压电陶瓷驱动系统,并进行了检测。首先分析了快速反射镜的驱动原理,并确定系统的主要设计指标；然后以PA92为驱动核心,分别进行输入级电路、滤波电路和高压放大计电路的设计,该系统具有3路驱动通道：一路固定100 V输出；两路0~100 V可变输出,可实现快速反射镜的推拉驱动。实际测试结果表明：该系统输出电压的非线性度为0.075%,最大纹波电压峰峰值为8.2 mV,驱动10μF的等效负载时,100 V大信号阶跃响应上升时间和下降时间约为290μs,实际驱动 S340型快速反射镜时,系统的-3 dB带宽达到326 Hz,提高了快速反射镜的频率响应范围。

关键词：快速反射镜、压电陶瓷、功率放大器、PA9 2

分类号：TN384;TN722.7(半导体技术)

在线出版日期：2015-09-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：6-10