基于LabVIEW的HCI参数测试系统设计

摘要：

为了解决利用仪器手动测量器件可靠性既效率不高,又容易出错的问题,根据热载流子可靠性测试原理,以LabVIEW 8.5为平台设计了半导体器件HCI参数自动测试系统.介绍了该系统的硬件、软件构成,详细介绍了软件设计及功能实现.实验结果表明,该系统运行稳定,测量速度快,结果精度高,提高了测量人员的效率,且程序具有很好的扩展性.

关键词：虚拟仪器、LabVIEW、HCI、测试系统

所属期刊栏目：33

分类号：TP202+.1(自动化技术及设备)

资助基金：安徽省自然科学基金资助项目090412029

在线出版日期：2011-01-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：56-59,72