10.3969/j.issn.1002-7300.2009.07.044
数字化气体质量流量计及在材料生长中的应用
数字化气体质量流量计采用RS-485通讯方式与主控制器连接;流量计的各项功能设置以及检测用数字化的方式完成.相对于模拟接口的质量流量计而言,采用具有数字化接口的流量计组织一个应用网络更为方便,控制更为可靠.本文以Brooks SLA7850S数字质量流量计为例,介绍了有关的通讯协议以及在半导体材料生长中的应用.
数字化气体质量流量计、RS-485、控制
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TB663(制冷工程)
2009-10-23(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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