基于小波变换的薄膜显微图像多重分形分析

摘要：

用透射电镜(TEM)观察了采用直流磁控溅射法制备厚度在1.5 nm～67 nm之间的半连续Ag膜的形貌.对TEM显微图像,提出了利用小波变换消除显微图像中的低阶趋势项,然后用多重分形谱来定量表征不同厚度半连续Ag 膜的复杂微结构特征.结果显示,多重分形谱的宽度(Δα)、顶点位置都会随着膜的厚度变化有规律地变化.这种方法表征了不同条件下薄膜的形成机理,为探索薄膜微结构的制备条件提供了重要的理论依据.

关键词：显微图像、小波变换、消除低阶趋势项、多重分形谱

所属期刊栏目：31

分类号：TP391(计算技术、计算机技术)

资助基金：安徽省教育厅自然科学基金2005KJ058

在线出版日期：2008-12-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：6-9,13