10.3969/j.issn.1002-7300.2006.04.011
浅沟槽双光电探测器
提出一种新型光电探测器,采用浅沟槽隔离工艺,在双光电探测器基础上制作而成.通过使用Silvaco公司的器件模拟软件Atlas进行器件模拟,分析了浅沟槽对探测器关键参数的影响,包括响应度和响应速度.结果表明,浅沟槽双光电探测器具有良好的特性,响应度和响应速度都优于双光电探测器.
双光电探测器、浅沟槽隔离、器件模拟、响应度
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TL81(粒子探测技术、辐射探测技术与核仪器仪表)
2006-10-18(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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24-25,39