10.14139/j.cnki.cn22-1228.2023.03.009
基于干涉图样分析牛顿环表面的缺陷
针对牛顿环平板玻璃或平凸透镜会出现的多种质量及缺陷问题,根据不同的情况进行分析研究,模拟得出相应的干涉图样并分析质量问题和干涉图样变化的一致性.结果表明干涉图样的变化与器件所存在的质量问题相吻合,通过分析牛顿环干涉图样能够判断牛顿环的质量和缺陷问题,该研究结果对实际生产实践中如何针对质量和缺陷问题进行表面处理具有一定的指导意义.
牛顿环、缺陷、平板玻璃、平凸透镜、干涉图样
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O4-39
2023-06-30(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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