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10.14139/j.cnki.cn22-1228.2022.05.021

基于Matlab的迈克尔逊微小位移测量

引用
传统迈克尔逊干涉条纹人工计数,测量方法稳定性差,人为误差较大.现提出一种基于CCD进行干涉条纹采集,利用Matlab中Waved Ruler(波尺)对干涉条纹进行图像处理.根据干涉条纹明暗周期性变化,通过对干涉条纹去背景噪声、二值化阈值滤波、去小噪声、条纹优选等步骤,对干涉条纹处理并计数,从而测得物体微小位移.实验结果表明,该方法优化了迈克尔逊干涉法测物体微小位移,测量最小误差达到0.4%,减小测量过程中的误差,提高测量稳定性.

迈克尔逊干涉、微小位移、干涉条纹、图像处理

35

O436.1(光学)

吉林省科技发展计划项目20190302098G

2022-11-24(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共4页

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1007-2934

22-1228/O4

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2022,35(5)

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