10.14139/j.cnki.cn22-1228.2022.01.018
利用迈克尔逊干涉仪测量物体表面形貌
在大学物理实验迈克逊干涉实验光路观测干涉条纹的基础上,引入一种测量物体表面形貌的实验.实验要求学生通过改变参考镜的倾角引入光程差,以获得合适周期分布的干涉条纹,使用CCD或工业相机采集单帧干涉条纹图样,通过Matlab编写以傅里叶变换与频域滤波为主的算法处理干涉条纹,得到被测物体的表面形貌.
迈克尔逊干涉仪、傅里叶变换、形貌测量
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O4-34
国家自然科学基金;华侨大学科研基金资助项目;东莞市引进创新创业领军人才计划项目
2022-08-17(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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