利用迈克尔逊干涉仪测量物体表面形貌

摘要：

在大学物理实验迈克逊干涉实验光路观测干涉条纹的基础上,引入一种测量物体表面形貌的实验.实验要求学生通过改变参考镜的倾角引入光程差,以获得合适周期分布的干涉条纹,使用CCD或工业相机采集单帧干涉条纹图样,通过Matlab编写以傅里叶变换与频域滤波为主的算法处理干涉条纹,得到被测物体的表面形貌.

关键词：迈克尔逊干涉仪、傅里叶变换、形貌测量

所属期刊栏目：35

分类号：O4-34

资助基金：国家自然科学基金;华侨大学科研基金资助项目;东莞市引进创新创业领军人才计划项目

在线出版日期：2022-08-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：79-82