ZnO·TiO2双层复合薄膜的制备及其光学性能的研究

摘要：

采用溶胶-凝胶法(Sol-Gel),分别以乙酸锌(Zn(CH3COO)2H2O)、钛酸酊酯(Ti(OC4H9)4)为锌源和钛源,在玻璃衬底以及硅衬底上制备了不同浓度的、均匀的、结晶质量良好的单层ZnO、TiO2薄膜及双层的ZnO·TiO2复合薄膜.结果表明,所制备的单层本征ZnO、TiO2薄膜分别沿(002)、(101)晶面生长,且当本征ZnO、TiO2的浓度分别为0.45 mol/L、0.65 mol/L时,择优取向生长最明显.ZnO·TiO2复合薄膜的(101)、(004)特征峰明显,且0.45 mol/L/0.55 mol/L的双层ZnO·TiO2复合薄膜结晶质量最好;薄膜表面最为平整,粒子分布均匀,粘连现象最少;对紫外光的吸收最强,禁带宽度为3.39 eV.

关键词：ZnO薄膜、TiO2薄膜、溶胶-凝胶法、双层复合薄膜、光学性能

所属期刊栏目：35

分类号：O484.1(固体物理学)

资助基金：辽宁省教育厅科学研究基金项目LJ2019006

在线出版日期：2022-08-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：25-29