利用分光计测量介质薄膜的厚度与折射率

摘要：

提出一个在分光计平台上同时测量介质薄膜厚度与折射率的实验方案.改变光线入射角,测量薄膜样品的反射率,利用数值拟合的方法同时得到了薄膜的参数.实验结果与厂家提供的参考值及由椭偏仪测试结果吻合得较好.该实验内容可作为分光计及偏振光的拓展.

关键词：分光计;多光束干涉;厚度与折射率;介质薄膜

所属期刊栏目：34

分类号：O436.1(光学)

资助基金：南科大教改项目;2020年高年学校教学研究项目

在线出版日期：2022-01-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：4-6