10.14139/j.cnki.cn22-1228.2018.05.018
溅射气体流量比对磷掺杂ZnO电学性质的影响
采用磁控溅射方法在石英衬底上制备ZnO薄膜,研究溅射气体流量比对薄膜性能的影响,利用XRD对薄膜结构进行表征,SEM表征薄膜的表面形貌,讨论了溅射气体流量比对薄膜电学性质的影响.结果表明,当Ar/O2为1/0.05时,得到p型ZnO:P,其电阻率为59.80Ωcm,迁移率为0.49 cm2/Vs,空穴载流子浓度为2.33×1017 cm-3.
磁控溅射、ZnO薄膜、p型、电学性质
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O4-047
吉林化工学院校级项目2015053;吉林化工学院校级博士启动项目2015129;吉林化工学院重大科技项目2015011
2018-12-05(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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