二维光栅制备及衍射特性研究

摘要：

利用飞秒激光微加工平台,结合激光直写技术,在50 nm厚的金膜上制备出了二维光栅,研究了扫描速度和扫描间距固定时,飞秒激光能量密度的改变对二维光栅结构的影响.通过扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscopy,SEM)对制备的二维光栅的形貌进行表征,并准确测量了光栅参数.利用氦氖激光分析了二维光栅的衍射效果,并与数值模拟得到的图案进行比较,分析了条纹缝宽和栅格尺寸对衍射点阵列光强分布的影响.研究表明飞秒激光直写技术可以方便快速地通过加工参数的改变制备不同尺寸分布的二维光栅.

关键词：微纳加工、飞秒激光、光栅衍射

所属期刊栏目：31

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：广东省自然科学基金项目2015A030310832;2016年度大学生创新训练项目;广州市科技计划项目201607010261

在线出版日期：2018-09-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：26-30