10.14139/j.cnki.cn22-1228.2017.002.008
高分辨激光显微测量系统的应用
高分辨显微测量系统在观察样品表面细微结构和普通光学难以分辨的极限尺寸样品的测量中实现了高分辨、高精度和自动化的综合显微分析.文中采用激光光源提高显微测量精度,并消除了激光散斑的影响,采用高分辨CCD工业相机对光盘的道间距及表面参数进行了实时显微测量分析.
高分辨、激光、显微测量、散斑控制、盘片微观结构
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O4-33
国家自然科学基金项目11464025,11064007;教育部"新世纪优秀人才支持计划"NCET-11-0906
2017-05-31(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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