Origin软件在“电容-电压法测半导体杂质浓度分布”实验中的应用

摘要：

基于电容-电压法（简称C-V法）来测量半导体杂质浓度分布，简单快速且不破坏样品。为更快速、精确求得半导体杂质浓度分布，利用Origin软件绘出样品的C-V曲线、1C2-V曲线的线性拟合，快速求出杂质浓度、自建场及绘制相应的杂质浓度分布曲线。

关键词：C-V测量法、Origin、杂质浓度分布、pn结

所属期刊栏目：29

分类号：O4-39

在线出版日期：2016-05-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：90-93