反射光谱包络线法测量光电薄膜的光学常数和厚度

摘要：

提出了一种利用薄膜反射光谱包络线法计算光电薄膜光学常数和厚度的方法。当一束光照射在基板上的介质膜上时，由于薄膜上、下界面反射光的相干，会使反射光谱的曲线有一定的波动。本文对反射光谱进行了理论分析，给出计算公式，从测量曲线中的实验值得出薄膜的厚度和光学常数。此种方法计算过程简单、迅速，而且易于编程处理。

关键词：光电薄膜、厚度、光学常数、反射光谱

分类号：O4-34

资助基金：塔里木大学校长基金项目TDZKSS201324;高教研究课题TDGJ1316

在线出版日期：2015-07-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：11-14,31