InZnO 薄膜透明导电的制备及其柔性的表征

摘要：

利用激光脉冲沉积( PLD)技术在室温条件下将IZO薄膜生长在塑料衬底上，通过控制生长压强来调节薄膜的电学性质。然后对光电性质最优的薄膜进行了柔性测试，结果显示薄膜的内弯折半径小于9 mm 后电阻会显著增加，对于弯折引起的电学性能的变化进行了初步的讨论。

关键词：IZO薄膜、柔性、透明导电

分类号：O4-34

资助基金：国家自然科学基金51202026;吉林省科技发展计划资助项目201201061,20121802;高等学校博士学科点专项科研基金20110043120004

在线出版日期：2014-09-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：6-9