10.3969/j.issn.1007-2934.2013.01.001
双面金属铝包覆介质波导测量介质厚度和折射率
利用双面金属铝包覆波导的测量方法,测量了硅片的厚度和折射率.这种方法利用双面金属铝包覆波导的超高阶模的偏振不灵敏和对金属层要求较低的特点,降低了对仪器的要求和测量的成本.同时,由于应用高灵敏的超高阶导模为探针,测量精度较高,结果显示测量精度在1%以内.
双面金属波导、折射率、超高阶模、耦合
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TN253(光电子技术、激光技术)
上海市大学生创新活动计划项目B-8906-11-01148;上海工程技术大学教育科学研究项目y201121001
2013-07-18(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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