10.3969/j.issn.1007-2934.2011.04.011
非接触法自动测量薄膜厚度
根据白光等厚干涉原理,基于单片机改造的迈氏干涉仪用于自动测量透明薄膜厚度,采用非接触性测量法。当迈克尔逊干涉仪静镜形成的虚像与动镜相交所成的夹角很小时,在光屏上看到彩色干涉条纹,插入薄膜后,光程差改变,彩纹消失。步进电机带动微调手轮转动,当彩纹再次出现,即可得出透明薄膜厚度。
单片机、白光、迈克尔逊干涉仪、薄膜厚度、非接触法
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TP274(自动化技术及设备)
2012-04-21(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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