薄膜光学常数的椭偏测量

摘要：

利用光谱型椭偏仪测量了镀在熔石英玻璃基片上的氟化镁薄膜在300～850nm波长范围内的椭偏参数.并利用Levenberg-Marquardt算法.反演出了氟化镁薄膜在该波长范围内的色散曲线.通过与纯氟化镁体材料的色散曲线比较,发现所镀的氟化镁薄膜的折射率略小于体材料的折射率.

关键词：椭偏测量、光学薄膜、色散曲线、反演

所属期刊栏目：24

分类号：O434.19(光学)

在线出版日期：2011-05-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：11-13