10.3969/j.issn.1007-2934.2011.01.004
薄膜光学常数的椭偏测量
利用光谱型椭偏仪测量了镀在熔石英玻璃基片上的氟化镁薄膜在300~850nm波长范围内的椭偏参数.并利用Levenberg-Marquardt算法.反演出了氟化镁薄膜在该波长范围内的色散曲线.通过与纯氟化镁体材料的色散曲线比较,发现所镀的氟化镁薄膜的折射率略小于体材料的折射率.
椭偏测量、光学薄膜、色散曲线、反演
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O434.19(光学)
2011-05-19(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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