金属薄膜电阻特性与厚度测量

摘要：

考察不同沉积时间的金属铝与铜的薄膜的沉积态,电阻变化与厚度,厚度测量采用实验室光学干涉和透过率对比方法.金相显微与铝铜电阻变化的测量表明,不连续薄膜与连续过渡之间,电阻显著变化处不同.铝膜电阻随时间变化过程开始时存在波动状态.

关键词：薄膜生长长、薄膜电阻、薄膜测量

所属期刊栏目：24

分类号：O484.3(固体物理学)

在线出版日期：2011-05-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1-4