10.3969/j.issn.1007-2934.2010.05.018
迈克尔逊干涉测薄膜厚度
在利用迈克尔逊干涉测量薄膜厚度的实验装置中加入了压力传感器.该设计光路可以在无需已知薄膜透射率、折射率等物理参数的情况下,测得薄膜厚度,而且基本消除了外界挤压对薄膜厚度造成的误差影响.
迈克尔逊干涉、薄膜厚度、压力传感器
23
O484.5(固体物理学)
国家自然科学基金资助项目10905049
2010-11-12(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
49-50,53
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10.3969/j.issn.1007-2934.2010.05.018
迈克尔逊干涉、薄膜厚度、压力传感器
23
O484.5(固体物理学)
国家自然科学基金资助项目10905049
2010-11-12(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
49-50,53
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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