10.3969/j.issn.1007-2934.2010.05.002
沟槽微结构薄膜制备及润湿特性研究
利用模板技术复制光盘沟槽结构,制备出了聚二甲基硅氧烷沟槽微结构薄膜,并对薄膜的润湿性进行了研究.结果表明:制备的聚二甲基硅氧烷沟槽结构薄膜在平行沟槽方向接触角大于与沟槽垂直方向接触角,具有明显的润湿各向异性.
光盘、沟槽微结构、聚二甲基硅氧烷、润湿各向异性
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TN304.055(半导体技术)
辽宁省科学技术计划项目2008228002;辽宁省教育厅计划项目2009A172;教育部物理学与天文学教学指导委员会物理基础课程教学指导分委会计划项目08004;2009年度辽宁省高等教育教学改革研究重点项目A-245
2010-11-12(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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