10.3969/j.issn.1007-2934.2009.03.008
Langmuir单探针诊断电子回旋共振等离子体参数分布特性
本文采用Langmuir单静电探针法,分析诊断了电子回旋共振等离子体的参数分布特性,并分析了微波功率、气压对轴向、径向等离子体空问分布的影响.在微波功率400w~650W范围内等离子体具有较高的密度及良好的径向均匀性.
电子回旋共振等离子体、Langmuir单静电探、等离子体分布特性
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O434.14(光学)
国家自然科学基金项目10575039;教育部高校博士点专项科研项目[20040574008]:广东省自然科学基金重点项目05100534;广州市科技计划项目200523-D2031
2010-01-15(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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