10.3969/j.issn.1007-2934.2009.02.021
椭偏仪的测量研究和误差分析
本文通过模拟数据的计算,详细分析了椭圆偏振仪数据处理的复杂性,讨论了搜寻精度对准确求解的影响.
椭圆偏振、薄膜、厚度
22
O441.3(电磁学、电动力学)
2009-08-05(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
79-82
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10.3969/j.issn.1007-2934.2009.02.021
椭圆偏振、薄膜、厚度
22
O441.3(电磁学、电动力学)
2009-08-05(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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