10.3969/j.issn.1007-2934.2009.02.008
薄膜型热释电探测器及其薄膜的制备
本文阐述了薄膜型热释电探测器原理及其薄膜的制备方法,进一步分析、整理了薄膜制备过程中的条件及参数.
薄膜、热释电、探测器
22
TP212.14(自动化技术及设备)
2009-08-05(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
27-29
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10.3969/j.issn.1007-2934.2009.02.008
薄膜、热释电、探测器
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TP212.14(自动化技术及设备)
2009-08-05(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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