10.3969/j.issn.1007-2934.2008.02.002
基于Monte Carlo方法模拟薄膜生长
本文运用Monte Carlo方法,通过计算机模拟研究了真空镀膜过程中沉积速率、自由粒子迁移率、粒子沿分形迁移等对薄膜生长过程的影响.
Monte Carlo、薄膜生长、沉积速率、迁移率、团簇
22
O4-39
2008-09-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
4-7
点击收藏,不怕下次找不到~
10.3969/j.issn.1007-2934.2008.02.002
Monte Carlo、薄膜生长、沉积速率、迁移率、团簇
22
O4-39
2008-09-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
4-7
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
©天津万方数据有限公司 津ICP备20003920号-1
违法和不良信息举报电话:4000115888 举报邮箱:problem@wanfangdata.com.cn