光集成器件和MOEMS中硅基衍射器件的研究

摘要：

介绍了光集成器件和MOEMS中硅材料和衍射光学元件的应用,在此基础上分析了硅基衍射光学元件在光集成器件和MOEMS中的重要地位;描述了几种常见形态的硅基衍射光学元件,简单分析了难于获得垂直于硅基底的衍射光学元件的原因.

关键词：光集成器件、集成光学、光电集成、微光机电系统(MOEMS)、硅基(Siliconbased)、衍射光学元件(DOE)

所属期刊栏目：17

分类号：O436(光学)

在线出版日期：2004-12-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：34-37