10.3969/j.issn.1007-2934.2003.01.022
椭偏测厚仪测量结果的计算机数据处理
本文详尽介绍了椭偏术测量单层透明薄膜折射率和厚度的方法,采用一种数字迭代计算方法,由测量得到的起偏角A和检偏角P直接算出所测薄膜的折射率和厚度.经过数值试验及与标准值比对,由此编制的计算程序具有准确,快速,方便的特点.
椭偏测厚、数据处理、程序设计
16
O241(计算数学)
2004-07-31(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
65-68
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10.3969/j.issn.1007-2934.2003.01.022
椭偏测厚、数据处理、程序设计
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O241(计算数学)
2004-07-31(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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