Safe Delivery Resource(SDS)技术进展

摘要：

Safe Delivery Resource(SDS)是针对大规模集成电路制造工艺所用砷烷、磷烷、乙硼烷、三氟化硼等电子特种气体而开发的一种微负压储运和应用技术.SDS技术的出现克服了传统高压存储电子特种气体存在泄漏风险的难题.SDS技术所用吸附剂从微孔沸石分子筛到球形树脂基活性炭再到单块碳,每一次吸附材料的转变都显著提升单位体积气体介质的存储容量.目前,第四代SDS技术电子特种气体容量在满足长时间、高通量应用的同时进一步完善了其安全性.

关键词：SDS、电子特种气体、吸附剂、安全性

所属期刊栏目：41

分类号：TB658(制冷工程)

在线出版日期：2023-11-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：12-15,54