10.3969/j.issn.1007-7804.2023.03.002
国内外特种气体市场概况
随着全球半导体产业的发展,电子特种气体作为半导体工业重要的基础材料前景光明,充满机遇.主要综述国内外特种气体的市场概况.
半导体行业、特种气体、国内外市场、概况
41
TQ117
2023-07-17(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
7-9,19
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10.3969/j.issn.1007-7804.2023.03.002
半导体行业、特种气体、国内外市场、概况
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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