三氯氢硅的制备及纯化技术研究进展

摘要：

三氯氢硅是一种非常重要的有机硅单体,被广泛应用于光伏及半导体领域.介绍了三氯氢硅常用制备方法及其优缺点,列举了三氯氢硅的纯化方法.在实际生产中,优先选择冷氢法制备三氯氢硅,该方法的关键是研制出高性能催化剂.根据三氯氢硅粗品的杂质种类,选择合适的纯化方法,得到高纯度的三氯氢硅产品.

关键词：三氯氢硅、制备、纯化

所属期刊栏目：41

分类号：TQ127.2

在线出版日期：2023-07-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1-6